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スクラッチ・ディグ自動検査装置 OptiLUX S/D

主観の入らない計測を行うので高再現性・高信頼性
製品歩留まりを飛躍的に向上させます

測定サービス承ります
※測定サービスは海外のメーカーへ委託しますので、物品の海外発送が必要です

特徴

  • 均一照明下での高解像度の暗視野顕微観察で、主観の入らない信頼性の高い計測を行います
  • XYステージ、Z軸高さ、カメラフォーカスの全てが自動調整、再現性の高い計測を行います
  • 最大300x300mmの範囲に収まれば、複数の光学系を一度に計測できます
  • オートフォーカスなので素早く計測できます
  • 表面計測モードは手動、自動の両方が選択可能
    (必要な一部だけをすぐに確認することも!)
  • ユーザーの指定する範囲・形状に対して、任意に条件を設定可能
    * 複数の光学部品の一括測定が可能
    * プログラムを組めば、業務時間外に自動計測を走らせることも可能、時間短縮に貢献します
  • その測定範囲設定条件の保存・呼び出しも可能
  • 下記のような、見やすい測定結果レポートを作成
    * どこにどんなキズがあるかがすぐに分かるマッピング付き
    * 個別のキズに対する解析
    * 複雑な形状に対する解析
    * 指定するしきい値に対しての合否判別も簡単!

用途

  • 平面原器、フィルター、プリズム、光学窓のような、高精度光学系の検査に
  • 高再現性・高信頼性を誇るので、従来必要としていた限度見本が不要に
  • 表面のキズ・ブツの規格を取り決めたい精密金属加工の分野に
  • その他、表面の性状の検査、計測に

計測光学系
カメラ モノクロ2048×2048画素、10-bit
視野(FOV) 5.63×5.63mm
画素分解能 2.75um
Working Distance 15mm(装置として)
計測用レンズ ミツトヨ無限補正対物レンズ、x2(固定)、焦点深度184um、レンズ単体WD34mm
照明 LEDアレー均一光源(色温度5500K)
計測ステージ
移動最大 XY 300mm、 Z 50mm (これ以外の仕様も応相談)
駆動方式 ボールねじ(手動)、ブラシレスサーボモータ
位置決め ロータリーエンコーダ
移動分解能 XY 0.5um、 Z 0.1um
位置再現性 XY ±1um、 Z ±0.75um
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