Fabry=Perrot光干渉法を利用し、微弱な音波に依る媒質屈折率の変化として捉える超音波マイクロフォンです(Optical Microphone)。
この手法により、音波の音圧に依って微小に変化した空気の屈折率を1e-14程度、音圧としては1μPa程度の非常に精緻な検出ができ、その時間・周波数・強度解析を行うことで様々な現象の評価が可能な、応用力の高い非接触検査技術です。
セラミックや光学結晶材の内部欠陥(クラック)や、金属溶接の不良、不透明体の内部構造の偏在の様子の観察、加工中に発生する超音波の解析に依るプロセス管理など、今までに"見えなかった"様々な現象を"聞いて判断"することができるようになります。
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