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Fizeauタイプ汎用レーザ干渉計

精密な波面の計測に、経時変化も一緒に取り込んでしまうピエゾ式参照面スキャンではなく、複数位相を同時に計測することで経時的スキャンを省いたSpatial Carrier Fringe方式に依る高速撮像を採用し、耐震性能や空気撹乱耐性などを向上したFizeau型の干渉計です。(但し、ピエゾ式への計測モード変更も可能)
小型で軽量であり測定姿勢を問いませんので、様々な用途・環境への汎用性が高く、多目的にお使いいただけます。

特長

  • 従来の一般的な参照面を駆動させるFizeau干渉計測(TPSI)と、動的環境でも計測できる瞬時Fizeau干渉計測(DPSI)のいずれかを計測毎に選択可能!
  • 本体と制御用PCとがEthernetケーブル接続なので、最大100mまでの遠隔操作が可能!
  • 標準的なFizeau参照レンズの接続互換もあるので、既存の光学系をそのまま流用可能!
  • また他干渉計ソフトウェアや光学設計ソフトウェアとの互換性も保持
  • 可搬性重視のため様々な姿勢や環境へ適応性が幅広い

用途

  • 測定条件などを最適化出来ない環境で干渉計測を行いたい研究者・品質管理部門など
  • 測定対象が多岐で、固定位置での測定ではなく様々なところへ出向いて測定しなくてはならない職務の人へ
  •  旧い計測システムを新しいものに変えようと思っている工場など
  • 既存の加工機械、検査機械、測定ラインなどへの導入
  • 対象を測定する際に、様々な姿勢に調整しなくてはならないような環境へ
AccuFiz-E仕様 概要 備考・補足
概要  小型Fizeau型干渉計  計測毎に測定モード選択可
測定原理

ピエゾ式時間位相シフト(TPS)方式Fizeau干渉法、

Spatial-Career Fizeau干渉法(Tilted-Beam) 

←Temporalモード、除震台必要

←Dynamicモード、振動不感

光源  非安定化He-Ne、633nm 安定化モデル(Sモデルあり) 
測定口径 4inモデル、6inモデル  他の条件、口径は応相談 
測定許容反射率 1-100%   
カメラ仕様 12-bit、1.44Mpix可視カメラ 廉価版600×600モデル(Bモデル)あり 
ズーム 電動ズーム6倍  Continuous Zoom 
PC要件

Windows 7 Pro以降(32ビット機)

CPU:Dual Core 2GHz以上、メモリ4GB以上

(PCは通常、購入時に付属) 
 ソフトウェア概要

測定・制御用ソフトウェア『4Sight』

Zemike/Seidel/Slope/Geometric/Fourier解析オプション

差分、平均化、Burst測定、マスキング、2D/3D表示

各種光学設計・干渉計ソフトデータのI/Oが可能

・読込/書出し可能ファイル:opd,map,dat,hdf,int,csv,txt,その他

・アップグレード:保証期間内無償

 

 画像取得フレームレート  > 30fps  
 最小露光時間 < 30usec   
RMS再現性  < 0.0002 λ(λ/5000)  ※標準精度モード  精度向上モード時 λ/12500以下
RMS測定精度   < 0.05 λ(λ/20)  未較正状態
本体寸法   L50cm × W24cm × H20cm 脚、その他付属品を除く 
本体重量  約14kg以下  脚、その他付属品を除く 
使用環境  20 +/- 5℃(15~25℃)、結露なきこと  保管環境:0~36℃、結露なきこと 

Spatial Career 測定の原理

動的な瞬時位相シフト干渉計測、Dynamic Phase Shifting Interferometry (DPSI)の手法の一つ

従来の方式との差異

従来の、参照面を駆動させて位相情報を得ている方式だと、駆動中(Scan中)に震動があると状態を保存できず計測そのものが出来ない。
それらの環境に対抗するために、(a) 干渉計そのものを大きく剛性の高いものにしたり、(b) 除震台や環境対策を講じたりと、汎用性に欠ける。
時間的な位相シフトという意味でTemporal PSI (TPSI ) と呼ばれる。

オプション・その他周辺機材

ラインナップ

AccuFiz-E 1200×1200画素カメラ、非安定化レーザー使用の標準タイプです
AccuFiz-B 標準タイプの解像度を600×600画素カメラに落とした廉価版
AccuFiz-S 標準タイプを安定化レーザーに替え、より信頼性を増した製品

※ いずれも基本的な筐体サイズ、重さなどは同じ。
※ AccuFiz-Bを除くそれぞれのタイプで、開口径を4inのものと6inのものが選択可能。
※ その他開口径のものも、カスタマイズ応相談。
  8in(200mm) 、12in(300in) 、18in(450mm)など

 

性能関連オプション

  • 4in→6in拡大用ビームエキスパンダも別売しています。
  •  精度向上モード:光源からの光路に回転di f fuser を用い、高周波ノイズを取り除いて測定精度、再現性を向上させるオプションで、上記のラインナップに標準装備しています。

参照光学系

標準的なFizeau参照レンズが使用出来るBayonet マウントを搭載。 既存の参照平面や参照レンズがそのまま使用出来るのでRef測定も楽にでき、測定対象物のトレーサビリティを取るのが容易で
す。 もちろん独自の参照光学系も用意しているので(λ/20) 、初めてのお客様でも安心してお使いいただけます。
また測定対象光学系の保持、調整用のマウントなども幅広く取り瞬間測定により震動に対する耐性が得られ、 揃えております。

解析ソフトウェア

  • 解析ソフトウェア「4Sight 」:干渉計の操作および測定・解析を総合的に出来るソフトウェアです。 データ形式は標準では多階層HDFファイルを採用、さらに他社干渉計ソフト用のデータフォーマット、光学設計ソフトのフォーマットも読込・書出しができ、各データ間での各種演算・計算も容易です。
  •  LAN経由遠隔操作「4DWebService」:Microsof t社の
    WebServiceを利用し、遠隔のPCからオペレーションPCをコントロール出来るソフトウェアです。このソフトをSlaveにして外部ソフトからオペレートし、システム統合なども可能になります。
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