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3次元プロファイラ(粗さ測定) NanoCam sq

青色LEDを用い、参照面に対する測定面干渉法を利用した非接触3次元粗さ測定器です。
精度はサブÅ。軽く小さな筐体なので、電動アームで吊って大型光学系の中心部を測定することも容易です。
    

※注意:この製品は光学製品向けのため、光学研磨面以外の粗い面の測定には適しません

特長

  • 従来の据え置き型測定器と異なり、測定対象物の大きさに制限がありません。
  • 独自の光学設計により、Working Distanceは業界最長。被測定物と安全な距離を保てます。
  • 4D Technology社の得意とする振動環境耐性を備え、除振台の省略/簡略化が可能。
  • 業界標準ともいえるソフトウェアMountain Viewとの完全互換が可能。
  • 他干渉計ソフトウェアや光学設計ソフトウェアとの互換性も保持。
  • 可搬性重視の設計で、様々な姿勢や環境での使用に適応。
  • 対物レンズの倍率・NAも各種ラインナップ。

アプリケーション

  • 光学研磨品の3次元表面粗さ測定
  • 大口径オプティクスの表面形状分析
  • 加工中の表面粗さ計測
  • インラインの製造プロセスコントロール

仕様

  • 本体寸法・重量:L24cm x W24cm x H8cm、10kg以下
  • 光源波長:460nm
  • 最大測定高さ:115nm(λ/4)
  • 再現性:0.005nm(0.05Å)
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