中性子反射法(Neutron Reflectivity)測定用の、サンプル蒸着用Si基板です。
膜厚評価や成分分析用のサンプルを本基板上に成膜してご評価いただけます。
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Neutron Reflectivity用 中性子反射窓
仕様
| 寸法 |
50x50x10t mm |
|---|---|
| 材質 | Cz-Si（N型） |
| 方位 | (111) |
| 表面仕上げ |
片面を中性子反射用に研磨 Ra < 5A (ideally <3A)、S/D＝20/10（深い線キズ不問） |
| Dopant |
本基板はn型であり、中性子吸収断面積の大きいB(ホウ素)は含まれません。 |