RICOR社製MicroStarはスターリングクーラー方式の真空補助ポンプです。 ターボポンプとの併用で真空度を大幅に改善し真空引き時間も大幅に短縮できます。 GMタイプのクライオポンプと異なり、別置きの大型ヘリウムコンプレッサやヘリウムラインの必要がなく コンパクトで低消費電力を実現しました。 半導体プロセス装置のロードロックチャンバー、 トランスファーチャンバーやプロセスチャンバー、真空蒸着装置の真空補助ポンプとして最適です。
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- シリコン(Si)レンズ (透過波長帯：1.2～15μm / 25～300μm)
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- フッ化カルシウム(CaF2)レンズ (透過波長帯：0.13～12μm)
- フッ化バリウム(BaF2)レンズ (透過波長帯：0.15～12μm)
- セレン化亜鉛(ZnSe)レンズ (透過波長帯：0.5～22μm)
- 硫化亜鉛(ZnS)レンズ (透過波長帯：0.37～14μm)
- カルコゲナイドガラスレンズ (透過波長帯：0.75～14μm)
- ダイヤモンドレンズ (透過波長帯：220nm～THz・マイクロ波)
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アプリケーション
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ロードロック・チャンバー
トランスファーチャンバー
デガスチャンバー
プロセスチャンバー - 蒸着装置
- PVD、CVD、イオン注入、エッチングなど
仕様
| 方式 | ツインピストン型リニア式スターリングクーラー |
|---|---|
| 冷却能力 | 18W＠120K＠ 23℃環境 7W@ 65K@ 23℃環境 |
| ウォーターベーパー能力 | シェラウドISO100F：1,000L/s シェラウドISO160F：2,000L/s シェラウドISO200F：4,000L/s シェラウドISO250F：7,000L/s |
| リジェネレーション機能 | あり（310K昇温、プロセス時間40分以内） |
| MTTF | ＞30,000h |
| 消費電力 | ＜200W DC52V入力（専用電源あり） |
| クーラー放熱方式 | ヒートシンク＋ファン又は、水冷方式 |
| 重量 | 21kg（ISO250Fの場合) |
| 専用電源 | 入力電圧：90～240VAC、47～63Hz 8A at 90VAC（最大負荷時） 2.6kg |
