PhaseMaskに依る瞬時撮像の干渉計測が特長のTwyman=Greenタイプの小型レーザ干渉計。
長焦点距離や大口径光学系の評価の際、計測系全体を除振台などに乗せることが難しかったり、光路に発生する空気流動(Air turbulence)などの影響を排除しきれなかったりする場合に、瞬時撮像機能を活かして悪環境下での精密計測が可能です。
本体からのレーザ出射は約8.9mm程度の小口径ですが、様々のF/#を持つDiverging lensを接続することができるので、球面の直接評価や、参照平面で反射させるダブルパス光学系での放物面評価や、"望遠鏡"として内部に放物面・双曲面・球面・平面などの複雑な組合せを持つ光学系の透過波面評価など、様々な構成での計測/評価が可能です。
またSpeckleパターンを投影してESPI(電子的スペックルパターン干渉法)計測を行うオプションや、Beam Expanderを用いてFizeau型に近い口径の平行光出射を得るオプションも提案可能なので、小型軽量であることを活かして様々な用途に応用可能です。
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