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ダイナミック レーザ干渉計

nmレベルの高さ(面精度)の情報を取得するために常に除振台を必要とする一般的な干渉計測手法とは異なり、『瞬時に位相情報を含む干渉縞を取得する』特殊な手法を用いることで、一般的な干渉計では計測できない条件でも計測ができる干渉計のシリーズです。

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