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非接触・非破壊 光学素子検査装置
様々な手法のセンシング技術を用いて、光学部品(※)の表面の品質や状態の評価、形状や構造の評価、表層多層膜の厚み(の分布)の評価など、非接触かつ非破壊の検査を行う装置群のご案内です。
※ここで云う「光学部品」とは、基本的には鏡面研磨された状態の表面を持つ、ガラス(SiO2)や各種の赤外硝材、また金属ミラーなどのことを指します
鏡面ではない表面を持つサンプルの評価は、特殊なケースを除いて対象としていませんのでご注意ください
