インライン薬液濃度モニター WetSpec201 －1プローブ・タイプ、ウエットプロセスの濃度管理に最適－
半導体ウエハ、太陽電池パネル、FPD製造などの洗浄やウエット・エッチングの薬液濃度管理に最適。1プローブ・タイプ。
特長
- In situ、インライン、遠隔から測定
- １ポイント・タイプ
- 混合液の測定も可能
- リアルタイム測定
- 豊富なインターフェース
- 既存の設備への設置が可能
用途
- 洗浄装置の薬液濃度モニタリング
- ウエット・エッチングの薬液濃度モニタリング
- CMPスラリーの薬液濃度モニタリングとパーティクル・レベルの推定
- 廃液管理モニター
仕様
| WetSpec201 | |
|---|---|
| 測定方法 | 赤外線吸収スペクトル解析 |
| 測定ポイント数 | 1ポイント |
| 測定速度 | 約30秒(アプリケーションによる) |
| セル材質 | PEEK、テフロン、ステンレス、サファイア |
| インターフェース | RS232C、アナログ、Ethernet |
| ファイバー長 | ～200m |
