インライン薬液濃度モニターWetSpec

通常定期的に行っていた薬液管理をインラインでリアルタイムにモニタリングすることにより、的確な薬液状態を保つことが出来ます。

専門誌『Semiconductor International』の、Editor's Choice 2009に選ばれました。

WetSpec200

洗浄装置、ウェット・エッチングに最適。

半導体ウエハ、太陽電池パネル、FPDに。

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