RoHS対応製品になりました。- In situ、非接触プロセス温度モニター
- 高感度、広いダイナミック･レンジを達成
- 高サンプリング･レート(〜3kHz)に対応
- 豊富なインターフェース
- DeLTAとの併用により放射率を自動入力可能
Tel:042-674-9817
Fax:042-674-9824
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半導体プロセス温度モニターNTM ETA― NTM DeLTAとの組合せにより放射率データの共有が可能 ―
特長
アプリケーション
仕様
上記仕様は予告なく変更する場合があります。
半導体プロセス温度モニター 一覧
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