RoHS対応製品になりました。- In situ、非接触プロセス温度モニター
- リアルタイム放射率&温度測定(同じ測定ポイント)
- 高感度、広いダイナミック･レンジを達成
- 高サンプリング･レート(〜3kHz)に対応
- 豊富なインターフェース
Tel:042-674-9817
Fax:042-674-9824
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リアルタイム放射率補正型半導体プロセス温度モニターNTM DeLTA― PVD、CVD、RTPプロセスの温度モニターに最適 ―
特長
アプリケーション
仕様
上記仕様は予告なく変更する場合があります。
半導体プロセス温度モニター 一覧
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