SEM観察用断面試料作成装AMC-8000 ― 高精度のハイエンドモデル ―
超高精度タイプのハイクラス・モデル。
見やすい大画面モニターで、誰にでも簡単にSEM用断面試料を早く確実に作製することができます。
特長
- 超高精度。
- 簡単、早く、確実。
- 任意の刃圧を指定できます。(2N - 60N)
- 平面は勿論、曲面上にもケガクことが可能。
操作性
- 操作は標準モデルと同様。
- 簡単なティーチングによりケガキ位置を素早く決定
- 目標のスキップ指示が可能。
仕様
| AMC-7600 | AMC-7800 | AMC-8000 | |
|---|---|---|---|
| 対象材料 | 各種半導体ウェハ、マスク、液晶用TFT基板 石英ガラス等の各種ガラス材料 | ||
| ケガキ位置精度 | ±15.0μm | ±2.5μm | |
| 光学系・画像系 | 双眼実体顕微鏡 | 単眼ズーム顕微鏡＋CCD | |
| 照明 | ダブルライトガイド照明 | 同軸落斜照明 | |
| 倍率 | 約15～94倍 | 約22～140(15インチ液晶モニター使用時) | 約60～400(20インチ液晶モニター使用時) |
| 寸法 | 450W×780D ×550(MAX)H | 450W×780D ×520(MAX)H | 665W×550D ×750(MAX)H |
| 質量 | 約53kg | 約78kg | |
上記仕様は予告無く変更することがあります。
