超高感度エミッション顕微鏡
IREM-SIL
IR Labsが提供する最新のシステムです。
世界最高感度を誇るInGaAsカメラ
- Ultra Low Read Noise：<10e-
- 測定波長：900～1600nm
- InGaAs FPA：320x256, 30umピッチ
- *1000x1000のカメラを現在開発中
370x 2.8N.A.の固浸レンズ
- 高い開口数を維持しつつ、使いやすさと適応範囲を広げた、本当の意味でのレンズシステムです。
- 独自のフェーザータッチ技術により、プロービングしたウェーハでの測定も可能。
豊富なレンズ群
オリジナルの高開口数レンズをラインナップ
- 液浸レンズ ： 200x 1.4N.A.
- IREMオリジナル・レンズ ： 0.3x、1x、25x、100x
- ミツトヨ標準レンズ ： 5x、10x、20x、50x、100x
高再現性レンズ・スライド
高解像度レンズに対応しレンズ間移動誤差の低減化を実現
高精度カメラ・ステージ
高解像度レンズに対応した顕微鏡のための移動再現性を実現したステージ
除振機能つき
固浸レンズとのアライメントに必要なTIP-TILTステージ
豊富な機能とユーザーインターフェースを有した固浸レンズ専用ソフトウエア
