超高感度エミッション顕微鏡 IREM-II― 先端デバイスの不良解析に最適 ―

近年、半導体デバイスの微細化・低電圧化により、エミッション発光の長波長化と微弱化が進み、従来の故障解析で使われてきた冷却CCDを使ったエミッション顕微鏡では対応できなくなりつつあります。

また、デバイスの多層化により発光箇所の特定を全面からできなくなったため、裏面からの発光観察が不可欠になってきました。

エミッション顕微鏡 IREM-IIは、最新デバイスに対応可能なホットキャリアのピーク波長をカバーできる超高感度エミッション顕微鏡です。(図は オリジナル画像(左上)と処理後の画像(右下)の一例)