インライン薬液濃度モニター WetSpec200― 洗浄装置、ウエット･エッチングに最適 ―

通常定期的に行っていた薬液管理をインラインでリアルタイムにモニタリングすることにより、的確な薬液状態を保つことが出来ます。

Semiconductor Internationalという専門誌の、Editor's Choice 2009に選ばれました。