赤外線機器・部品の輸入・製造・販売
アイ・アール・システム社名
アイ・アール・システム社名(英)
TOP > 製品情報 > その他光学機器・部品 > 小型スターリング冷凍機

ウォーターベーパークライオポンプ

ウォーターベーパークライオポンプ
RICOR社製MicroStarはスターリングクーラー方式の真空補助ポンプです。 ターボポンプとの併用で真空度を大幅に改善し真空引き時間も大幅に短縮できます。 GMタイプのクライオポンプと異なり、別置きの大型ヘリウムコンプレッサやヘリウムラインの必要がなく コンパクトで低消費電力を実現しました。 半導体プロセス装置のロードロックチャンバー、 トランスファーチャンバーやプロセスチャンバー、真空蒸着装置の真空補助ポンプとして最適です。

アプリケーション

  • クラスタツール
    ロードロック・チャンバー
    トランスファーチャンバー
    デガスチャンバー
    プロセスチャンバー
  • 蒸着装置
  • PVD、CVD、イオン注入、エッチングなど

仕様

方式ツインピストン型リニア式スターリングクーラー
冷却能力18W@120K@ 23℃環境
7W@ 65K@ 23℃環境
ウォーターベーパー能力シェラウドISO100F:1,000L/s
シェラウドISO160F:2,000L/s
シェラウドISO200F:4,000L/s
シェラウドISO250F:7,000L/s
リジェネレーション機能あり(310K昇温、プロセス時間40分以内)
MTTF>30,000h
消費電力<200W DC52V入力(専用電源あり)
クーラー放熱方式ヒートシンク+ファン又は、水冷方式
重量21kg(ISO250Fの場合)
専用電源入力電圧:90~240VAC、47~63Hz            
8A at 90VAC(最大負荷時)
2.6kg
TOP > 製品情報 > その他光学機器・部品 > 小型スターリング冷凍機