トワイマングリーン干渉計PhaseCamシリーズ
小型・軽量。設備・装置内にヘッドを設置し、遠隔操作が可能です。
完全遠隔操作が可能。露光時間1μ秒。4メガピクセルカメラ、2倍ズーム機能付き。
3.39μm又は10.6μmの赤外波長での測定が可能。
1.053、1.064、1.3又は1.55μmの近赤外波長での測定が可能。
低反射率の光学部品の測定が可能はハイパワータイプ。
シンプルな手動操作で高分解能測定。
測定波長を複数使用することにより、数nmから数cmまでの広範囲を1台で測定できる干渉計です。
インラインでの平行平面基板の測定に。300μm厚までの薄い基板の測定も可能。表裏面の形状、欠陥、均一性や試料の板厚がこの一台で測定できます。
各種ダイバージングレンズ、5軸微調マウント(PhaseCam6000用)、参照面、ビームエキスパンダーなど。
株式会社アイ・アール・システム
〒192-0355 東京都八王子市堀之内2-10-5 
