超小型非接触表面粗さ測定機NanoCam Sq
紫外LEDを用い、参照面に対する測定面干渉法を利用した非接触3次元粗さ測定器です。
精度はサブÅ。軽く小さな筐体なので、電動アームで吊って大型光学系の中心部を測定することも容易です。
詳細な仕様についてはお問合せ下さい。
特長
専用移動カートオプションへ搭載
- 従来の据え置き型測定器と異なり、測定対象物の大きさに制限がありません。
- 独自の光学設計により、Working Distanceは業界最長。被測定物と安全な距離を保てます。
- 4D Technology社の得意とする振動環境耐性を備え、除振台の省略/簡略化が可能。
- 業界標準ともいえるソフトウェアMountain Viewとの完全互換が可能。
- 他干渉計ソフトウェアや光学設計ソフトウェアとの互換性も保持。
- 可搬性重視の設計で、様々な姿勢や環境での使用に適応。
- 対物レンズの倍率・NAも各種ラインナップ。
アプリケーション
大口径ミラーに直接置いて局所表面評価に
- 光学研磨品の3次元表面粗さ測定
- 大口径オプティクスの表面形状分析
- 加工中の表面粗さ計測
- インラインの製造プロセスコントロール
仕様
- 本体寸法・重量：L24cm ｘ W24cm ｘ H8cm、10kg以下
- 光源波長：460nm
- 最大測定高さ：115nm(λ/4)
- 再現性：0.005nm(0.05Å)
