赤外線、紫外線・赤外線センサー・赤外線機器のアイアールシステム

半導体関連機器

ウエハ用プロセス温度計──────────	┬リアルタイム放射率補正型プロセス温度モニター（NTM500) ├半導体非接触温度モニター（NTM1) ├プロセス温度モニター（NTM3) └放射率補正型プロセス温度モニター（NTM5)
BGA/CSPリワークシステム（スナイパー・スナイパー2）
SEM用観察用断面資料作成装置
LD/LED製造用スクライバー
実験用スピンコーター/ドライヤー

その他

赤外線機器