IRSYSTEM 製品情報　半導体機器　SEM観察用断面試料作成装置明細

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SEM観察用断面試料作成装置
	高精度・短時間 AMC7800は端麗な劈開面を持った各種ウエハ、ガラスなどの数ミリ角サイズのSEM観察用断面試料を手軽に短時間で作製できます。
	■特徴 ①SEM用試料を数分間で作成！ ②ｽｷｯﾌﾟけがきで端麗な破断面！ ③結晶方位に関係無く破断できます！開発・分析・品質関係のみなさんの労力解消・作業効率アップに貢献します。「劈開サンプル作製　無償で行います」

仕様
適用試料	種　類・・・各種ｳｴﾊ・ｶﾞﾗｽ・ｾﾗﾐｯｸ等サイズ・・・最大8インチΦ）板　厚・・・ 0.3mm～13mm
移動距離	Ｘ＝50mm・Ｙ＝220mm・θ＝360°（XY操作はｼﾞｮｲｽﾃｯｸ）
最大けがき長	210ｍｍ（Y軸方向のみ）
拡大鏡	画像系　カラーCCDカメラ　14インチカラーモニター
照明装置	照明装置　同軸落射照明
寸法・重量	450（W)×540（D)×690（H)　約５０Kg
所要設備	電源：AC100Ｖ・50/60Hz・2A（照明装置付き）
付属品	ﾋﾞﾆｰﾙｶﾊﾞｰ・試料固定用ｼｰﾄ・ﾋｭｰｽﾞ特殊ﾌﾟﾗｲﾔｰ（破断用）・交換用試料固定ｼｰﾄ・交換用けがき工具・けがき調整用ﾄﾞﾗｲﾊﾞｰ

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